今天漓源環(huán)保給大家簡述一下芯片生產(chǎn)線廢水處理，芯片生產(chǎn)過程工藝復雜，包括硅片清洗、光刻、刻蝕、鍍鎳等，過程中使用大量的化學試劑如氫氟酸、氨水、氯化鎳等，其廢水包括含氮廢水、含氟廢水、酸堿廢水、有機廢水、廢氣洗滌廢水、鎳廢水等等，其中，鎳廢水排放后，會在土壤中沉積，從而被植物吸收后，轉(zhuǎn)移到人的體內(nèi)，鎳含量最高的植物是綠色蔬菜和煙草，可達1.5～3ppm，鎳對水稻產(chǎn)生毒性的臨界濃度是20ppm。

中國規(guī)定車間空氣中羰基鎳的最高容許濃度為0.001mg/m³，地面水中鎳的最高容許濃度為0.5mg/L，鎳含量超標大大提高了癌癥的發(fā)病率。對廢水進行分類收集和單獨處理，可實現(xiàn)廢水的總排放達標。

現(xiàn)有對芯片生產(chǎn)線廢水的處理方式主要是采用化學試劑，結(jié)合破絡(luò)合物、氧化、沉淀、過濾、中和等過程，將含鎳廢液處理成含鎳沉積物，將廢水進行排放，將沉積物再進行回收使用或進一步處理，由于需要充分地破絡(luò)合處理，才能將鎳離子釋放出來，故需用大量的化學試劑，處理的步驟復雜，成本高，影響芯片加工企業(yè)的經(jīng)濟效益，不利于芯片行業(yè)可持續(xù)發(fā)展。

提供了芯片生產(chǎn)線的廢水處理系統(tǒng)，通過沉淀、調(diào)節(jié)、蒸發(fā)、冷卻、凈化等工序，采用物化結(jié)合的方式，使芯片生產(chǎn)線產(chǎn)生的廢水得到了高效的凈化，其操作簡單，成本低，利于芯片行業(yè)可持續(xù)發(fā)展，適于大面積推廣。

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