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芯片生產(chǎn)線廢水處理

標簽:芯片生產(chǎn)線廢水處理

今天漓源環(huán)保給大家簡述一下芯片生產(chǎn)線廢水處理,芯片生產(chǎn)過程工藝復雜,包括硅片清洗、光刻、刻蝕、鍍鎳等,過程中使用大量的化學試劑如氫氟酸、氨水、氯化鎳等,其廢水包括含氮廢水、含氟廢水、酸堿廢水、有機廢水、廢氣洗滌廢水、鎳廢水等等,其中,鎳廢水排放后,會在土壤中沉積,從而被植物吸收后,轉(zhuǎn)移到人的體內(nèi),鎳含量最高的植物是綠色蔬菜和煙草,可達1.5~3ppm,鎳對水稻產(chǎn)生毒性的臨界濃度是20ppm。

芯片生產(chǎn)線廢水處理

中國規(guī)定車間空氣中羰基鎳的最高容許濃度為0.001mg/m3,地面水中鎳的最高容許濃度為0.5mg/L,鎳含量超標大大提高了癌癥的發(fā)病率。對廢水進行分類收集和單獨處理,可實現(xiàn)廢水的總排放達標。

現(xiàn)有對芯片生產(chǎn)線廢水的處理方式主要是采用化學試劑,結(jié)合破絡(luò)合物、氧化、沉淀、過濾、中和等過程,將含鎳廢液處理成含鎳沉積物,將廢水進行排放,將沉積物再進行回收使用或進一步處理,由于需要充分地破絡(luò)合處理,才能將鎳離子釋放出來,故需用大量的化學試劑,處理的步驟復雜,成本高,影響芯片加工企業(yè)的經(jīng)濟效益,不利于芯片行業(yè)可持續(xù)發(fā)展。

提供了芯片生產(chǎn)線的廢水處理系統(tǒng),通過沉淀、調(diào)節(jié)、蒸發(fā)、冷卻、凈化等工序,采用物化結(jié)合的方式,使芯片生產(chǎn)線產(chǎn)生的廢水得到了高效的凈化,其操作簡單,成本低,利于芯片行業(yè)可持續(xù)發(fā)展,適于大面積推廣。

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芯片生產(chǎn)線廢水處理

聲明

涂料化工廢水處理技術(shù)方法--臭氧應(yīng)用

涂料化工廢水處理技術(shù)方法--臭氧應(yīng)用

涂料化工廢水處理技術(shù)方法,臭氧主要是一種有效殺滅生物污染物的消毒劑。臭氧還會氧化并沉淀鐵,硫和錳,因此可以將它們從溶液中過濾掉。臭氧會氧化并分解許多有機化學物質(zhì),包括許多導致氣味和味道問題的化學物質(zhì),臭氧化在水中不產(chǎn)生味道或氣味。

2019-09-27
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